1�����g��(y��u)��

����•��ԭ�������ȸߣ������L����(w��n)���Ժá�
0~30000ppmv���������y���@ʾ������(n��i)*��
ͨ�^�������о�����Ӌ�����a(ch��n)Ʒ�z����
ϵ�y(t��ng)�߂��Ԅ��������ܣ���Ч�˷��ضȡ���ȵȭh(hu��n)�����ص�Ӱ푡�
��·�_�P��ģ�M��ݔ�����c�C��ϵ�y(t��ng)�o�p���ɡ�
���x�o���󾯹���
���x����CO��CH4��H2S������O(ji��n)�y
���x�ⲿݔ����̖�ӿڣ�ݔ����̖�Ɂ��ԟ��F̽�^���T���_�P��
���xݔ���ӿڣ����F(xi��n)�Ԅ�119��Ĉ󾯡���/ͣ����C��늿��T�ȱ������ܻ����ƹ���
���x��(sh��)��ʽSF6�ܶ��^����Y�ϽM�W(w��ng)���M��*��SF6���wй©�O(ji��n)��ϵ�y(t��ng)
���x�h�̾W(w��ng)�j�M�бO(ji��n)��ϵ�y(t��ng)�\�Р�B(t��i)��ֱ�ӿ������C��׃�������\��

2���a(ch��n)Ʒ���c

*�Ĝyԇԭ��
    ϵ�y(t��ng)����•��ԭ�����ɶ��������r�ھ��y��SF6й©���w�������˷��˂��y(t��ng)�y��������ؓ늕���늷����u�؂�������ֻ�ܶ����Єe�Ƿ�Խ�޵�ȱ�ݣ��܉�ʴ_�õ����w��SF6������
�߿ɿ���
    ϵ�y(t��ng)�����p���̎����������Ч�˷��˜ضȡ���Ȍ��y���Y����Ӱ푣������˂��y(t��ng)�a(ch��n)Ʒ��ȱ�ݡ�
������������
    �O(ji��n)��ܛ������������SF6���w����׃��څ�ݣ�����Ч�����\���O��Ġ�B(t��i)���������A�����ã��@Ҳ�ǂ��y(t��ng)���Ԯa(ch��n)Ʒ�o�������ġ�
���ؙz�y����
    ��Ҫᘌ�SF6���wй©��ȱ����r�M�Йz�y�������Мضȡ���ȵȭh(hu��n)����(sh��)��(j��)���o���z�y���ܣ�*���ϡ�늘I(y��)��ȫ����Ҏ(gu��)�̡�Ҫ��
���ڬF(xi��n)���󾯼��g
    ΢���z�y���g�ܰl(f��)�����ڬF(xi��n)�����󣬲�ָʾ���wй©λ�ã����r֪ͨΣ�U���c��(n��i)�ˆT��ɢ�����Ҽ�����й©Դ�����o�\���O�䡣
�F(xi��n)�������OӋ
    һ����|�B�����вɼ��������C���ɷ����ɽM�ϣ����кܸߵĬF(xi��n)���m���ԡ�
���c�M�W(w��ng)�z�y
    zui��128�cͬ�r�z�y���M��F(xi��n)���h(hu��n)����Ҫ����ߙz�y�ɿ��ԡ�
�b�y���b��
    ϵ�y(t��ng)zui�����И˜ʽӿڣ���(sh��)��(j��)��ͨ�^RTU���͵��h���������ģ���������Ҳ��ֱ���h�̲�ԃ������ϵ�y(t��ng)�����F(xi��n)�b�y���b�ع��ܡ�
�O(ji��n)��ܛ��
    ���x�䣬���Д�(sh��)��(j��)�M�B(t��i)���D�νM�B(t��i)��������������(sh��)��(j��)������vʷ��(sh��)��(j��)��ԃ�ȹ��ܡ�
�L�����OӋ
    ������Æ�Ƭ�C�Ĺ����`���ԣ���������ȡ�gЪʽ�����y�����������˂������Ĺ�����(w��n)���Ժ�ʹ�É�����
 �vʷ��(sh��)��(j��)ӛ䛺Ͳ�ԃ
    ���C���д�������(sh��)��(j��)�惦�����ɴ惦2�ꔵ(sh��)��(j��)��ͨ�^�Pӛ����X�����O�M�п�ݲ�ԃ��
 �t��O(ji��n)ҕ����
    ���x�䣬�z�y�����ˆT�M�빤���������Ԅ��Z����ʾ���r�z�y�Y�����ӏ��F(xi��n)�������ˆT��ֱ�^���X��
��S�o�OӋ
    �M�ĵ�늚��OӋ�����C�o���{��(ji��)�������ߵȼ���*��Ԫ�����x�ã���(y��u)���Ŀ��ɔ_���ܡ�

3�����g����(sh��)

      SF6�y��ָ��
      �y��������0��30000ppmv
      ���c�����ڜy��������(n��i)�O�ã�Ĭ�J1000ppmv
      �����`�±5%FS
      �؏����`�<5%FS
      ���cƯ�ƣ�<5%FS
      ����Ư�ƣ�<5%FS

      ����y��ָ��
      �z�y��ȣ�0��25%
      �����Ȉ��c��18%
      ����y�����ȣ�<0.4%,O2��21%�r

      ����ָ��
      �ضȜy�������� -25�� ~ +99��
      ��Ȝy�������� 0��99%RH